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双级旋片真空泵的工作原理和适用特点分析

浏览次数:1297发布日期:2023-03-02
  双级旋片真空泵由两个工作室组成,两室前后串联,同向等速旋转;一般流程中被抽气体由进气口进入高真空级,经过高真空级压缩后再经通道进入到低真空级再度进行压缩;但在抽气刚开始时,一般情况下真空室的压力本身较高,被抽气体经过高真空级压缩后因增幅过大会早早达到排气压力,此时压缩气体会由辅助排气阀排出一部分,另外一部分继续进入低真空级进行压缩排放;抽到一定程度后,进气压力变小,这时经过高真空级压缩后的气体压力会低于辅助排气阀的开启压力,这时辅助排气阀就会关闭,气体会全部经通道进入低真空级压缩后排出。
  

 

  双级旋片真空泵的特点;
  
  l、该泵是抽除气体的基本设备之一,它可单独使用,也可与增压泵、扩散泵、分子泵等超高真空泵连接在一起作为前级泵使用,广泛用于电子器件制造、真空干燥、过滤、浸渍、涂膜、焊接、冶炼及实验室装备等。
  
  2、真空泵在环境温度5℃~40℃范围内,进气口压强小于10托的条件下,允许长期运转,被抽气体相对温度大于90%时,应开气镇阀。
  
  3、真空泵进气口连续敝通大气运转不得超过3分钟.
  
  4、真空泵不适用于抽除对金属有腐蚀的、对泵油起化学反应的、含有颗粒尘埃的气体,以及含氧过高的、爆炸性的、有毒的气体。
  
  双级旋片真空泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子,转子外圆与泵腔内表面相切(二者有很小的间隙),转子槽内装有带弹簧的二个旋片,将定子分隔成两个工作腔(高、低级工作腔),旋转时,双级旋片式真空泵靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触,转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动,使得高级工作腔容积周期性扩大而吸气,低级工作腔容积周期性缩小而压缩气体,借助气体和油的压力推开排气阀排气,从而获得真空。当吸入压力较高时(例如从大气压开始吸气),气体在高级腔被压缩,压力急增,则被压缩的气体的一部分直接从辅助排气阀排出,另一部分气体经压缩后通过中壁内的级间通道进入低级腔,再次压缩后从低级排气阀排出,此时高低级腔同时排气;当吸入压强较低时(例如泵工作一段时间之后),气体由吸气口进入高级腔,气体在高级腔内压缩所产生的压力不足以推开辅助排气阀而直接通过级间通道进入低级工作腔,再次压缩后从低级排气阀排出。
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